アプリケーション（用途例）

直流電圧・電流源/モニタ6240Bまたは6241A/6242と提供されるソフトウエアをPCに搭載してUSBで接続することで、熱起電力による誤差が極めて少ない4探針測定で低抵抗の自動測定が可能になります。PCから、基本的な測定条件を設定し、電流を印加しながら電圧を測定し、PC上のExcelシートへデータを取り込みます。

Excelシートへ取り込んだデータは、経過時間ー電圧／抵抗値をグラフで表示できます。極性の異なる電流の印加により熱起電力誤差をキャンセルし、さらに、パルス駆動により発熱の影響による誤差を極めて少なくすることが可能で、正確な測定値を得ることができます（4探針法での測定）。
4探針測定治具は、市販品を使用しますが、弊社で紹介することも可能です。

また、0.2 μΩ以下の分解能で低抵抗を測定する場合は、デジタル・マルチメータ7461Aを追加することで0.02 μΩ分解能まで測定範囲を拡げることができます。

条件設定画面と測定結果表示

❶ 測定結果のグラフ表示 順方向と逆方向の双方向電流を印加したときの抵抗値とその平均値をグラフ化

❷ 接続するSMUの種類を選択

❸ 接続した機器のUSB IDを1～5から選択する。7461Aの場合は、Not Useも選択可能

❹以下の条件をドロップ・ダウン・メニューで選択可能 　出力電流、電圧リミット値、積分時間、サンプリング回数
　※測定周期は、自動計算して表示

❺ 測定開始ボタン

❻ 測定中断ボタン

❼ サンプリング回数のうち、あらかじめ設定した6回分の抵抗値の平均をモニタできます

設定範囲

測定範囲

拡張性

• 熱起電力による誤差を極力少なくし、低抵抗測定をさらに分析するためのソフトウエアのご紹介ができます。
• ４探針プローブの治具のご紹介ができます。