5350
半導体、電子部品の評価・試験に 5½桁表示の低価格タイプ
¥257,000(税込 ¥282,700)
12704A
レジスティビティ・チェンバ
用途:シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用
特長:すべての電極の素材が導電ゴムで接触しますので試料との密着性に優れています
¥232,000(税込 ¥255,200)
8252 | 5350 | 5450/5451 | |
表示桁数 | 5 ½桁 | ||
電圧測定 入力インピーダンス | 2×1014 Ω | 1013 Ω | ー |
電圧測定 測定範囲 | 10 μV~200 V | 1 μV~20 V | ー |
電流測定 測定方式 | 積分 | フィードバック | 可変フィードバック |
電流測定 測定範囲 | 1 fA~30 mA | 1 fA~20 mA | |
抵抗測定 測定範囲(電流印加方式) | 10 mΩ~200 GΩ | ー | |
抵抗測定 測定範囲(電圧印加方式) | 100 Ω~2×1017 Ω | ー | 10 Ω~3×1017 Ω |
電荷測定 | 1 fC~10 μC | ー | |
直流電源 発生範囲 | ±200 V | ー | ±1000 V |
直流電源 分解能 | 1 mV | ー | 1 mV |
1000 Vフローティング測定 | ー | 〇(5450のみ) | |
サンプリング速度 | 330 回 | 1000 回 | |
シーケンス機能 | 〇 | ー | 〇 |
インタフェース | GPIB | GPIB、USB、LAN(オプション) | GPIB、USB |
BCD OUTPUT | ー | オプション | |
ハンドラIF | 〇 | ー | 〇 |
アナログ出力 | 〇※1 | 〇 |
ー |
D/A OUTPUT | - | 〇 |
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