直流電圧/電流発生器

セレクション・ガイド

 SMU 6240B 6241A 6242
 発生桁数 4½桁
 出力方式 バイポーラ
 電圧最大出力 ±15 V/1A ±32 V/0.5 A ±6 V/5 A
 電圧最小分解能 10 μV
 電流最大出力 ±4 A/10 V(DCで±1 A/15 V) ±0.5 A/32V ±5 A/6 V
 電流最小分解能 1 nA
 測定桁数 5½桁
 基本確度(代表レンジ) 0.02 %
 電圧最小測定分解能 1 μV
 電流最小測定分解能 100 pA
 抵抗測定最大値/最小分解能 0.75 GΩ/0.25 μΩ 1.6 GΩ/2 μΩ 304 MΩ/0.2 μΩ
 パルス印加/測定
 最小パルス幅 50 μs
 インタフェース USB、GPIB
 SMU 6247C/6247G 6540 6541
 発生桁数 4½桁
 出力方式 バイポーラ
 電圧最大出力 +250 V, -15 V/320 mA ±10 V / 500 mA (4 ch合計1 Aまで) 
 電圧最小分解能  100 μV 100 μV
 電流最大出力 ±320 mA/+250 V, -15 V ±500 mA / 10 V(4ch合計1 Aまで)
 電流最小分解能 100 pA
 測定桁数 5½桁
 基本確度(代表レンジ) 0.02%
 電圧最小測定分解能 10 μV
 電流最小測定分解能  10 pA
 抵抗測定最大値/最小分解能  125 GΩ/30 μΩ 5 GΩ/20 μΩ
 パルス印加/測定
 最小パルス幅 50 μs
 インタフェース 6247C:USB、RS232
6247G:USB、GPIB
USB 各ch 独立 計4 個  USB(ch共通 計1 個)、GPIB(オプション)、LAN(オプション)
SMU 6253 6254  
 発生桁数  5½桁   
 出力方式 バイポーラ  
 電圧最大出力

±110 V/0.5 A 

±64 V/1 A

±20 V/7 A

±7 V/20 A

 
 電圧最小分解能  5 μV  
 電流最大出力 ±2 A/32 V ±20 A/7 V  
 電流最小分解能

50 pA 

5 nA  
 測定桁数 6½桁  
 基本確度(代表レンジ) 0.02 %  
 電圧最小測定分解能  100 nV  
 電流最小測定分解能  1 pA 100 pA  
 抵抗測定最大値/最小分解能 550 GΩ/0.05 μΩ  
 パルス印加/測定  
 最小パルス幅 25 μs  
 インタフェース

USB、GPIB、LAN(オプション)、

RS232(オプション)

 
 標準電源  6166 6146 6156
  発生桁数  6½桁 4½桁   5½桁
 電圧最大出力  ±1200 V / ±12 mA ±32 V / ±220 mA  
 電圧最小分解能  10 nV  1 μV 100 nV
 電流最大出力 ±1200 V/12 mA ±32 V/220 mA
 電流最小分解能 1 nA 100 nA  10 nA
 電圧発生確度(代表レンジ) 0.0035 % 0.025 % 0.015%
 電流発生確度(代表レンジ) 0.0055 % 0.03 % 0.02 %
 熱起電力発生 -220 ℃~1820 ℃、
分解能0.1 ℃
 ー  -200 ℃~1820 ℃、
分解能0.1 ℃
 セットリング時間 1 s以下 10 ms
 出力ノイズ(代表レンジ)  3 mVp-p 
 インタフェース USB、GPIB、BCDパラレル(オプション)

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