デジタル・エレクトロメータ
5350

¥230,000(税抜)

半導体、電子部品、光デバイスの評価・試験に
5½桁表示の低価格デジタル・エレクトロメータ

1013 Ω以上の高入力インピーダンス電圧測定と、1 fAから20 mAまでの広範囲な電流測定が可能な5½桁の低価格デジタル・エレクトロメータです。 
材料の基礎研究、半導体・電子部品の評価試験・選別、新素子の研究・開発、あるいは分析、生体関係など広い用途に使用できます。電圧測定はドライビング・ガード機能を選択することで、高インピーダンス信号源を正確にレスポンス良く測定できます。測定スピードは最高1,000サンプリング/秒と高スループットを実現し、内部メモリに測定結果を100,000データ保存出来ます。

特長・仕様

1 fAから20 mAまでの広範囲電流測定

最小分解能1 fA からの微少電流測定が可能なため、MOSFET のゲート電流などの半導体リーク電流測定や、光デバイスの暗電流測定に対応できます。また、最大電流測定値は20 mAと広域であるため、小信号トランジスタやダイオードなどのIB-VBE、IC-VBE 特性の評価にも適しています。
 

1013 Ω 以上の高入力インピーダンス電圧測定

高出力インピーダンスの電圧測定で一般的な電圧計を使用すると、電圧計の入力インピーダンス(109 Ω 程度)が影響し測定値に誤差を与えます。しかし、5350 は1013 Ω以上の高入力インピーダンスをもっているため、一般的な電圧計に比べて被測定物の出力インピーダンスの影響が1/10,000 に低減され高確度な測定ができます。
 

ドライビング・ガードによる高速電圧測定

直流電圧測定では被測定物の出力インピーダンスが大きな場合(100 MΩ 以上)、入力ケーブルの浮遊容量によってレスポンスが遅くなります。5350 は2重シールド構造の入力コネクタ、入力ケーブルを採用することによって内側シールドを5350 の入力電圧と同電位で駆動しています。このドライビング・ガード機能によって、入力ケーブルの中心線と外側シールドの浮遊容量が見かけ上ゼロとなりレスポンスの向上を実現しています。
 

入力信号を電圧値として外部出力

入力信号を電圧値として機器外部に出力するプリアンプ出力(AMP OUT)とD/A OUT を搭載しています。プリアンプ出力は5350 測定回路の出力電圧をアイソレーションせずに機器外部に出力できます。高インピーダンス電圧測定のときのインピーダンス変換出力器、電流測定のときの電流- 電圧変換出力器として使用することができます。D/A OUT はA/D 変換された測定値を ± 1 V の電圧に換算し、アイソレーションされた信号として出力します。
 

可変積分機能搭載

5350 は積分時間を500 μs ~ 3.2 s の間、100 μs 分解能で任意の値に設定可能です。この機能によりパルス状の電圧/電流の平均値を簡単に測定することが出来ます。A/D 変換器自体の積分時間を任意に設定できるため積分時間中の歯抜けのない正確な平均値が測定できます。予め用意された8 種類の積分時間を正面パネルのRATEキーでも簡単に切り換えできるので、用途に合わせて積分時間を選択できます。
 

表示桁数  5½桁
電圧測定 入力インピーダンス 1013 Ω
 測定範囲 1 μV~20 V
電流測定 測定方式

フィードバック

測定範囲 1 fA~20 mA
 サンプリング速度  1000回/秒
インタフェース GPIB、USB、LAN(オプション)
アナログ出力

D/A OUTPUT

※ 上記に入力しきれていない仕様および注釈等がございます。詳しくは『資料ダウンロード』よりカタログをダウンロードしてお確かめください。

オプション付き価格

名称 型名   価格
LANインタフェース付き 5350+06 ¥270,000
入力ケーブル付属無し

5350+63

¥220,000
LANインタフェース付き、入力ケーブル付属無し 5350+06+63 ¥260,000

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