5450 / 5451 デジタル超高抵抗/電流計 Ultra High Resistance Meter

デジタル超高抵抗 / 微少電流計
5450/ 5451

  • 5½桁表示の高分解能
  • 微少電流測定:1 fA~19.9999 mA
  • 高抵抗測定:3×1017 Ω(電流ファンクションにて)
  • 電圧発生:±1000 V、最小±1 mV
  • 高速測定:最高1000サンプリング/秒
  • 1000 Vのフローティング測定が可能(5450)
  • 測定時の温度、湿度も測定可能(別売りアクセサリ併用)
  • 測定条件を選ぶだけで測定ができるプリセット機能
  • ルーチン測定に便利なシーケンス・プログラム機能内蔵

5450/5451 は、エーディーシー創立以来の伝統技術に、さらに新しい直流増幅器技術を加え、また、長年ご愛用いただいているユーザーの皆様の声を生かして、誰にでも同じ測定結果が得られるように、使いやすさを大幅に改善した最新鋭の 5½桁表示 超高抵抗 / 電流計で、様々な絶縁物や半導体などの絶縁抵抗測定や微少電流測定の標準器とも言える製品です。

このような高性能を持っている5450/5451は、二次電池や半導体で用いる材料の試験やコンデンサ、プリント基板などの電気電子部品の試験、また各種合成樹脂やゴム材料などの絶縁材料において、研究開発から製造、品質検査までの幅広い分野で使用できます。

特長


高速・高性能測定を実現

5450/5451は、微少電流測定では、1 fA~19.9999 mAを、高抵抗測定では、3×1017  Ω(電流ファンクション時)までの測定ができる高性能を実現しています。しかも、最高1,000回/秒というサンプリング・スピードを持っていますので、電子部品の生産ラインにおけるGo/No-Go選別などにも威力を発揮します。 

被測定物の状態と5450/5451の機種選択

5450/5451 被測定物・機種選択

パワフルでかつフレキシブルな電圧発生

内蔵する電圧発生器は、±1000 Vで最大10 Wのソース/シンクが可能な電源を新たに開発しました。この新しい電源は、マイナス電圧も印加できますので、たとえばpチャンネル、nチャンネルの半導体や、逆バイアス電圧で動作するAPD( アバランシェ・フォト・ダイオード)などの測定ができるほか、コンデンサの充放電をアシストします。
また、電流リミット値を任意に設定できますので、半導体評価でのブレークダウンによる過電流からデバイスを保護します。

5450/5451 電圧発生範囲

必要に応じて電流計の応答を選択

5450/5451 電流計応答

実際の超高抵抗測定や微少電流測定では、周りのノイズ環境に影響されて測定が困難な場合があります。一方では、ノイズに影響されない環境で、高速で測定したい場合があり、用途に応じて様々な使い方が必要です。
5450/5451は、可変ゲイン・フィードバック方式で構成され、電流計の応答速度が選択できます。これによって外乱ノイズに対して強い測定にするか、応答を早くして測定速度を優先するかをアプリケーションや必要な測定精度に応じて選択することができるため信頼性の高い測定が行えます。

接地された試料も安定測定

5450/5451は、フローティング測定ができます。
5451は46 V peakまでですが、5450は1000 V peakまでのフローティング測定ができますので、片方が接地された状態での試料も測定できます。 

5450/5451 接地試料接続

測定時の温度、湿度も測定可能

5450/5451 温度・湿度測定表示

JIS K6911やK6723では材料の抵抗率を測定する試験条件に温度、湿度が規定されています。
5450/5451では推奨品の温湿度センサプローブを接続することで、環境温度、湿度も測定できます。 

各種インタフェースを装備

GPIBおよびUSBはもちろん、製造ラインの自動機など外部装置とのタイミング・コントロールが可能なハンドラ・インタフェースを標準装備しています。また、オペレーターが安全に測定できるよう不用意に電圧出力されないインターロック信号を備えています。

5450/5451 各種インタフェース

用途に合わせてすぐに使えるプリセット機能

超高抵抗や微少電流測定では、用途に合わせてアンプ・ゲインや積分時間、入力抵抗、さらには表面抵抗率、体積抵抗率の測定では電極係数など、様々な最適設定をする必要があります。
5450/5451では、たとえば、アクセサリを使用した体積抵抗率/表面抵抗率の測定や、微少電流測定を行う場合のピコ・アンメータ設定、コンデンサのリーク電流測定など、計10種類のプリセット条件がセットされていますので、面倒な測定条件設定を行うことなく、用途に合わせて選択するだけで、すぐに測定が開始できます。
もちろん自分で測定条件設定を行う「ユーザー・パラメータ設定」も 内蔵しています。

【アプリケーション別プリセット項目一覧】

アプリケーション   説明
 高速電流測定 ピコ・アンメータとして使用します。微少電流を高速に測定する設定です
 IR測定
 
 
0.04 μF 未満  0.04 μF未満のコンデンサのIR 測定に適した設定です。
0.04 μF ~4 μF  0.04 μF から4 μF のコンデンサのIR測定に適した設定です。
4 μF を超える容量 4 μFを超える容量のコンデンサのIR測定に適した設定です。
JIS測定 K6911

Φ50電極用です。
シーケンス・プログラムNo.2が動作し、1 分後の体積または表面抵抗率を表示します。 Vol/Surfと試料の厚み、発生電圧の設定が必要です。K6911の他にC6481、K6271などに適用できます。

K6723 Φ70電極用です。
シーケンス・プログラムNo.2 が動作し、1分後の体積または表面抵抗率を表示します。 Vol/Surfと試料の厚み、発生電圧の設定が必要です。
C2170 Φ30.5 電極用です。
シーケンス・プログラムNo.2が動作し、10 V の発生電圧で15秒後の体積または表面抵抗率を表示します。 Vol/Surf と試料の厚み設定が必要です。
12707液体電極  液晶材料の体積抵抗率測定に適した設定です。
シーケンス・プログラムNo.2 が動作し、5 Vの発生電圧で1分後の体積抵抗率を表示します。
絶縁抵抗測定  高抵抗素材をシールドの環境がない状態で測定する、耐ノイズ性の高い設定です。発生電圧 の設定が必要です。
 入力抵抗1 kΩ  測定レンジにかかわらず、入力抵抗が1 kΩになります。

 

ルーチン測定に便利なシーケンス・プログラム機能

様々な測定では、設定や測定の順番が重要です。
5450/5451では、シーケンス・プログラム機能があり、測定の手順、条
件など7パターンのシーケンスを記憶できます。
この機能を用いて、JIS規格に準拠して絶縁抵抗測定に規定された
電圧印加時から1分後の評価が手軽に行えるほか、設定した条件を
記憶できるため、測定者が異なっても同一の測定結果が得られます。
5450/5451 シーケンス・プログラム機能

より安全な入力コネクタを採用

5450/5451 安全な入力コネクタ

絶縁抵抗測定において、フローティング測定を行った場合、入力 端子とドライビング・ガード間(内側シールド)に設定電圧と逆極性 の電圧が発生します。 従来のトライアキシャル(Triax)コネクタでは金属部分が露出して おり決して安全とは言えませんでした。 5450では、より安全性の高いセーフティ・トライアキシャル(S-Triax) コネクタを採用しましたので、安心して測定に集中できます。

測定値が時間と共に変化する様子をグラフで表示

コンデンサのリーク電流を測定する場合、直流電圧を印加した直後は 容量分に応じた充電電流と呼ばれる突入電流が流れ、その後はほ ぼ指数関数的に減少していきます。この電流を吸収電流と呼び、試 料内部で誘電体の分極が行われているときの時間変化によるもので す。この電流が平衡に達しても残る電流がリーク電流となります。 ここで、指数関数的に減少する吸収電流が平衡値に落ち着く時間 は、誘電体の材料によって異なり、相当時間を要するものもあります。 リーク電流を正しく測定するには、吸収電流の落ち着きを見極めること が重要になります。 そこで、5450/5451ではドット・マトリックスLCDを生かし、測定値の時 間推移をグラフとして表示させる機能を持たせ、このような振る舞いの 測定値を視覚的に捉えることができるようにしました。

ここでは右側はグラフ表示。左側は経過時間、測定値のMAX値、MIN値 および印加電圧を表示しています。

5450/5451 グラフ表示

試料の接触不良を素早く検出-コンタクト・チェック機能

【接触不良の検出回路】
5450/5451 コンタクト・チェック

容量性の試料(コンデンサ)と測定ケーブル、または測定電極との接 触不良を素早く検出できるコンタクト・チェック機能を備えています。この 機能は指定した時、または測定毎に実行可能で、予めオープン・キャ ル(初期値測定)を行うことにより、測定ケーブルまたは測定電極の容 量をキャンセルすることで、より正確に試料を検出します。

オートレンジでも高速測定

生産ラインにおいて、電流ファンクションで測定する場合、オートレンジ
設定では、デバイスの測定と測定の間に切り替え動作が入り、測定
する値のレンジまで移動するのにレンジング時間がかかってスピードアッ
プできません。そのためラインのタクトタイムを上げるには、固定レンジ
で測定するのが通例でした。
しかし本器ではオートレンジでもレンジの上下限を設定できます。した
がって、必要最小限のオートレンジ範囲に設定することにより最低限の
切り替え時間で測定でき、タクトタイムが大幅に向上します。
5450/5451 レンジ設定画面

外観


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