デジタル・エレクトロメータ
8252
- 直流電圧測定：3 V～200 Vレンジ、最小分解能10 μV
- 直流電流測定：30 pA～30 mAレンジ、最小分解能1 fA
- 抵抗測定：3 kΩ～200 GΩレンジ、最小分解能10 mΩ
- 電荷測定：1 nC～10 μCレンジ、最小分解能1 fC
- ±200 Vの電圧発生機能
- 電圧印加抵抗測定により2×1017 Ωの測定が可能
- 各種スイ－プ測定機能により様々なデバイス評価に最適
8252は±200 Vの電圧発生機能を持った、5½桁の高性能なデジタル･エレクトロメータです。 1 fAの電流測定、±210 Vの 範囲において2×1014 Ωの高入力インピーダンス電圧測定、210 GΩの抵抗測定、 1fCの電荷測定などが可能です。
さらに各種スイープ機能を持った電圧発生により、各種デバイス、マテリアル評価に最適です。電流測定においては、積分方式（ICV） の採用により、誘導ノイズに強く、かつ高速測定が可能です。
また、絶縁抵抗測定においては、VSRM（電圧印加抵抗測定）機能により、2×1017 Ωの測定が可能です。
特長
電圧発生と各種スイープ機能
8252は±200 Vのプログラマブル電源を内蔵しています。発生モードとして、測定と非同期に動作するノーマル･モードと測定に同期して変化するスイープ･モードがあります。スイープ･モードはフィクスド、 リニア、ランダムの3種類があり、アプリケーションにより最適なスイープ測定が選択できます。
- フィクスド・スイープ測定
正確なチャージ時間後の絶縁抵抗の測定に
バイアス値： スイープ開始前のユーザ設定値
Td： メジャ・ディレイ
- リニア・スイープ測定
ダイオード、FET など半導体のI － V 特性測定に
- ランダム・スイープ測定
ランダムな電圧発生と同期した高速測定に
ノイズの影響を最小にした測定が可能
従来のエレクトロメータは入力インピーダンスが高いため、微少電流測定や高抵抗測定ができる反面、外部からの誘導ノイズに弱い欠点があります。8252は、下記の機能を採用し、ノイズの影響を最小限におさえた測定を可能にしました。
- ケーブルの振動によるノイズ発生を防止する、低雑音二重同軸 （トライアキシャル･ケーブル）の入力ケーブル
- ノイズに強い積分方式を採用
- 従来のフィードバック方式に比べ、対ノイズ性を改善した積分型電流ー電圧変換器
- 高ノイズ除去率（フルスケールの2～3倍のノイズ）を可能とした高ダイナミック･レンジのAD変換器
- 積分時間は、1 ms～1 sまで可変 - 移動平均によりノイズを除去するスムージング機能
高インピーダンス信号源の電圧や抵抗を高速に測定できるドライビングガード機能
電圧および抵抗測定において、信号源抵抗あるいは被測定抵抗が大きな時（100 MΩ以上）、ケーブルの容量およびHi-Lo端子間の 浮遊容量によって、レスポンスが遅くなります。例えば、信号源抵抗が1000 MΩのとき、ケーブル容量が100 pFあるとすれば、この時の時定数（t=100 ms）によって、最終値の±0.1%以内に入るまでのレスポンスは、約700 msとなります。 8252は、このレスポンスを改善するためにドライビング･ガード方式を採用し、入力ケーブルの内側のシールドを入力電圧と同電位で駆動することにより、Lo端子から見たインピーダンスをみかけ上ゼロにしています。また、ケーブル、コネクタを通して測定入力端子からLo端子に流れる漏れ電流も低減されるため、みかけ上の絶縁抵抗も高くなります。この機能を利用するとレスポンスは、10倍以上速くなります。
ドライビング・ガードによる測定：
ドライビング・ガードを行なったときは、入力ケーブルの芯線と、内側のシールドが同電位となり、入力ケーブルの容量CX1 は無視されます。また、内側のシールドと外側のシールド間は、低インピーダンスとなるため、CX2 も無視されます。
接触不良を検出するコンタクト･チェック機能
8252はコンタクト･チェック機能により、測定ケーブルと試料あるいは測定電極、フィクスチャと試料との接触不良を検出することが可能です。このコンタクト･チェック機能はDCIファンクション 30 pA～300 μAレンジにおいて、ノーマル･モードの時は測定ごとに、スイープ･モードの時はスイープ開始時に測定入力端子とLO端子、または電圧発生端子間の容量を測定して判定します。
ライン･ユースに最適なハンドラ･インタフェースと PASS/FAIL判定機能
8252はGPIBとTRIGGER、COMPLETE、INTERLOCKの単線信号のほか、自動機とのインタフェースのためのハンドラ･イン タフェースを標準装備しています。また演算機能として比較演算機 能を持っており、コンタクト･チェック機能と併せて使用することに より、比較判定結果とコンタクト･チェック結果を反映したPASS/ FAIL信号出力が可能です。コンデンサ･リーク試験、絶縁抵抗試験などにおいて、高速に自動選別が可能となります。
アプリケーション
各種半導体の評価、自動検査に
8252は、1 fAの電流測定と10 μVの電圧測定に加え、VSIM（電圧発 生電流測定）/ISVM（電流発生電圧測定）が可能なプログラマブル電 源を持っており、これらの組み合わせにより、幅広い半導体評価試 験が可能です。また、GPIB、ハンドラIF、各種単線信号を標準装 備していますので評価システムのコンポーネントとしても最適です。
・ダイオード、FETのIーV特性試験
高分解能の8252は、フォトダイオード（PD）の暗電流特性や MOSFETのゲート電流測定など、数pA以下の微少電流での IーV特性測定に最適です。5000ステップまでの発生、測定デー タ記憶が可能なリニア･スイープ機能と、測定レンジの移動範囲 が設定できるオートレンジ測定、レンジごとのディレイが設定可 能なオートレンジ･ディレイ機能により、安定かつ高速に最適な 測定が可能となります。
・1台でVSIM＋DCV/DCI測定またはISVM＋DCV/DCI測定
±200 Vの電源は10 μA分解能の電流リミッタ（設定範囲： 0.1 mA～12 mA）を備えており、プラスとマイナス側を個別に設定可能です。さらに分解能100 μVの電圧モニタ、および分解能100 nAの電流のモニタも可能です。電流測定が100 nA ～12 mA以内ではINPUT端子を使用せずにOUTPUT端子の みでVSIM測定ができます。また、電流リミッタ（設定範囲： 0.1 mA～12 mA）と電圧モニタを使用したISVM測定が可能で す。INPUT端子をDCVまたはDCIファンクションにすることに より、1台で2台分の測定が可能です。
・半導体評価システムのコンポーネントとして
高インピーダンス信号源の電圧測定に
または0Vとなり、電流に比例した電圧は出力されません。
8252は、2×1014 Ω以上の高入力インピーダンスの電圧測定が可 能です。信号源抵抗が109 Ωの被測定物を測定した場合、通常の DMMでは、入力インピーダンスが109 Ω程度であるため、50 ％の 測定エラーとなってしまいますが、8252では、わずか5 ppmです。 したがって、以下の測定に有効です。
- 各種半導体センサの出力電圧測定
- 分析用電極の電位測定
- 生体の電位差測定
また、プリアンプ出力を利用することにより、インピーダンス変換 が可能となります。
絶縁抵抗測定に
VSRM（電圧印加抵抗測定）機能を用いて、各種電子部品、ケーブ ル、ICパッケージなどの絶縁抵抗測定が可能です。測定範囲は、 100Ω～2×1017 Ωと広い範囲を持っていますので、導電ゴムのよう な低抵抗材料から、マイラ･フィルムのような高抵抗材料まで1台で 測定できます。また、フィクスド･スイープ機能により、正確な1分 間チャージ後の測定が可能で、さらに演算機能の使用により、試 料の長時間変化（最大、最小、平均など）を調べることができます。
これらの測定に適した試料箱、テスト・フィクスチャを
ご用意しております。
詳細はこちらをご覧ください。
トナーや高分子材料の電荷測定に
電解分析などに
8252は、最大、最小、平均などの演算の他に、積算機能を備え ています。積算機能とフィクスド・スイープ機能により、長時間にわ たる電流の積算値を測定することが可能です（最大83時間）。電気 分解、電解メッキの実験などにおいて、一定時間内の流れた電荷 量の算出に有効です。
- 電解分析
- 電解メッキ
- 定電位電解
仕様・価格
| 表示桁数 | 5½桁 | |
| 電圧測定 | 入力インピーダンス | 2×1014 Ω |
| 測定範囲 | 10 μV～200 V | |
| 電流測定 | 測定方式 |
積分 |
| 測定範囲 | 1 fA～30 mA | |
| 抵抗測定 | 測定範囲(電流印加方式) | 10 mΩ～200 GΩ |
| 測定範囲(電圧印加方式) | 100 Ω～2×101 7Ω | |
| 電荷測定 | 測定範囲 | 1 fC～10 μC |
| 電圧発生 | 発生範囲 | ±200 V |
| 分解能 | 1 mV | |
| サンプリング速度 | 330回/秒 | |
| シーケンス機能 | 〇 | |
| インタフェース | GPIB | |
| ハンドラIF | 〇 | |
| アナログ出力 |
〇*1 |
|
| 価格 | ¥535,000（税込 ¥588,500） | |
〇*1：電流測定 30 pA～300 μAレンジの時は鋸波状の電圧出力となる。
※ 上記に入力しきれていない仕様および注釈等がございます。詳しくは『ダウンロード』よりカタログをダウンロードしてお確かめください。
外観
アクセサリ（別売）
エレクトロメータ用アクセサリ
15702 
レジスティビティ・チェンバ
用途：シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用
特長：試料の圧力調整や厚み測定が可能。JISおよびASTMの規格に対応した電極をご用意しております
¥120,000～（税込 ¥132,000～）
12704A
レジスティビティ・チェンバ
用途：シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用
特長：すべての電極の素材が導電ゴムで接触しますので試料との密着性に優れています
¥217,000（税込 ¥238,700）
テスト・フィクスチャ
用途：コンデンサなどの電子部品の絶縁抵抗や微少電流測定向け
特長：シールドと絶縁を考慮した設計で微少電流、高抵抗を安定して測定可能
¥108,000（税込 ¥118,800）
テスト・リード
用途：プリント基板上のパターン間の絶縁測定や電圧、電流測定が可能
特長：測定ポイントを次々に変えるような測定に適したプローブ。絶縁抵抗測定では外部電源が必要
¥108,000（税込 ¥118,800）
ボルテージ・デバイダ・プローブ
用途：高インピーダンスを持つ高電圧を測定するときに使用
特長：分割比は100：1のため、5350では2 kV、8252では2.5 kVまで測定することが可能
¥130,000（税込 ¥143,000）
標準抵抗
用途：デジタル・エレクトロメータの点検用
特長：1×108 Ω、1×109 Ω、1×1010 Ω、1×1011Ω、1×1012 Ωの5機種を用意
¥80,000～（税込 ¥88,000～）
ファラデー・ケージ/電荷測定アダプタ
用途：固形・粉体などの電荷測定用
特長：帯電体(粉状、チップ状)の電荷を8252で測定可能
¥300,000/¥59,000（税込 ¥330,000/¥64,900）
ケーブル、アクセサリ
| 名称 | 型名 |
| 入力ケーブル（TRIAX-TRIAX） | A01009 |
| 入力ケーブル（TRIAX-みの虫 1 m） | A01010 |
| 入力ケーブル（TRIAX-BNC） | A01011 |
| 入力ケーブル（TRIAX-みの虫） | A01019 |
| 入力ケーブル（BNC-BNC 1.5 m） | A01036-1500 |
| 入力ケーブル（高耐圧TRIAX-TRIAX） | A01239 |
| 接続コネクタ（BNCJ-MP）＋入力ケーブル（TRIAX-BNC） | A04207+A01011 |
| ショート・プラグ | A140001 |
| 接続コネクタ（BNC・J-TRIAX・P アダプタ） | CC015006 |
| パネルマウント・セット（2Uハーフ） | A02039 |
| パネルマウント・セット（2Uハーフツイン） | A02040 |
| ラックマウント・セット（JIS 2Uハーフ） | A02263 |
| ラックマウント・セット（JIS 2Uハーフツイン） | A02264 |
| ラックマウント・セット（EIA 2Uハーフ） | A02463 |
| ラックマウント・セット（EIA 2Uハーフツイン） | A02464 |
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