8252 デジタル・エレクトロメータ Digital Electrometer

デジタル・エレクトロメータ
8252

  • 直流電圧測定:3 V~200 Vレンジ、最小分解能10 μV
  • 直流電流測定:30 pA~30 mAレンジ、最小分解能1 fA
  • 抵抗測定:3 kΩ~200 GΩレンジ、最小分解能10 mΩ
  • 電荷測定:1 nC~10 μCレンジ、最小分解能1 fC
  •  ±200 Vの電圧発生機能
  • 電圧印加抵抗測定により2×1017 Ωの測定が可能
  • 各種スイ-プ測定機能により様々なデバイス評価に最適

8252は±200 Vの電圧発生機能を持った、5½桁の高性能なデジタル・エレクトロメータです。 1 fAの電流測定、±210 Vの 範囲において2×1014 Ωの高入力インピーダンス電圧測定、210 GΩの抵抗測定、 1fCの電荷測定などが可能です。

さらに各種スイープ機能を持った電圧発生により、各種デバイス、マテリアル評価に最適です。電流測定においては、積分方式(ICV) の採用により、誘導ノイズに強く、かつ高速測定が可能です。

また、絶縁抵抗測定においては、VSRM(電圧印加抵抗測定)機能により、2×1017 Ωの測定が可能です。

特長


電圧発生と各種スイープ機能

8252は±200 Vのプログラマブル電源を内蔵しています。発生モードとして、測定と非同期に動作するノーマル・モードと測定に同期して変化するスイープ・モードがあります。スイープ・モードはフィクスド、 リニア、ランダムの3種類があり、アプリケーションにより最適なスイープ測定が選択できます。

  • フィクスド・スイープ測定
    正確なチャージ時間後の絶縁抵抗の測定に

    バイアス値: スイープ開始前のユーザ設定値
    Td: メジャ・ディレイ
8252フィクスド・スイープ測定
  • リニア・スイープ測定
    ダイオード、FET など半導体のI - V 特性測定に
8252リニア・スイープ測定
  • ランダム・スイープ測定
    ランダムな電圧発生と同期した高速測定に
8252ランダム・スイープ測定

ノイズの影響を最小にした測定が可能

従来のエレクトロメータは入力インピーダンスが高いため、微少電流測定や高抵抗測定ができる反面、外部からの誘導ノイズに弱い欠点があります。8252は、下記の機能を採用し、ノイズの影響を最小限におさえた測定を可能にしました。

8252入力
  • ケーブルの振動によるノイズ発生を防止する、低雑音二重同軸 (トライアキシャル・ケーブル)の入力ケーブル
  • ノイズに強い積分方式を採用
    - 従来のフィードバック方式に比べ、対ノイズ性を改善した積分型電流ー電圧変換器
    - 高ノイズ除去率(フルスケールの2~3倍のノイズ)を可能とした高ダイナミック・レンジのAD変換器
    - 積分時間は、1 ms~1 sまで可変
  • 移動平均によりノイズを除去するスムージング機能 

高インピーダンス信号源の電圧や抵抗を高速に測定できるドライビングガード機能

電圧および抵抗測定において、信号源抵抗あるいは被測定抵抗が大きな時(100 MΩ以上)、ケーブルの容量およびHi-Lo端子間の 浮遊容量によって、レスポンスが遅くなります。例えば、信号源抵抗が1000 MΩのとき、ケーブル容量が100 pFあるとすれば、この時の時定数(t=100 ms)によって、最終値の±0.1%以内に入るまでのレスポンスは、約700 msとなります。 8252は、このレスポンスを改善するためにドライビング・ガード方式を採用し、入力ケーブルの内側のシールドを入力電圧と同電位で駆動することにより、Lo端子から見たインピーダンスをみかけ上ゼロにしています。また、ケーブル、コネクタを通して測定入力端子からLo端子に流れる漏れ電流も低減されるため、みかけ上の絶縁抵抗も高くなります。この機能を利用するとレスポンスは、10倍以上速くなります。

8252ドライビング・ガード

ドライビング・ガードによる測定:
ドライビング・ガードを行なったときは、入力ケーブルの芯線と、内側のシールドが同電位となり、入力ケーブルの容量CX1 は無視されます。また、内側のシールドと外側のシールド間は、低インピーダンスとなるため、CX2 も無視されます。

接触不良を検出するコンタクト・チェック機能

8252コンタクト・チェック原理図
コンタクト・チェックの原理図

8252はコンタクト・チェック機能により、測定ケーブルと試料あるいは測定電極、フィクスチャと試料との接触不良を検出することが可能です。このコンタクト・チェック機能はDCIファンクション 30 pA~300 μAレンジにおいて、ノーマル・モードの時は測定ごとに、スイープ・モードの時はスイープ開始時に測定入力端子とLO端子、または電圧発生端子間の容量を測定して判定します。 

ライン・ユースに最適なハンドラ・インタフェースと PASS/FAIL判定機能

8252はGPIBとTRIGGER、COMPLETE、INTERLOCKの単線信号のほか、自動機とのインタフェースのためのハンドラ・イン タフェースを標準装備しています。また演算機能として比較演算機 能を持っており、コンタクト・チェック機能と併せて使用することに より、比較判定結果とコンタクト・チェック結果を反映したPASS/ FAIL信号出力が可能です。コンデンサ・リーク試験、絶縁抵抗試験などにおいて、高速に自動選別が可能となります。

8252リアI/F

外観


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