デジタル・エレクトロメータ
8252

¥450,000(税抜)

±200 Vの電圧発生機能を装備して、 デバイス、
マテリアル評価に最適

8252は±200 Vの電圧発生機能を持った、5½桁の高性能なデジタル・エレクトロメータです。 1 fAの電流測定、±210 Vの 範囲において2×1014 Ωの高入力インピーダンス電圧測定、210 GΩの抵抗測定、 1fCの電荷測定などが可能です。さらに各種スイープ機能を持った電圧発生により、各種デバイス、マテリアル評価に最適です。電流測定においては、積分方式(ICV) の採用により、誘導ノイズに強く、かつ高速測定が可能です。 また、絶縁抵抗測定においては、VSRM(電圧印加抵抗 測定)機能により、2×1017 Ωの測定が可能です。

特長・仕様

電圧発生と各種スイープ機能

8252は±200 Vのプログラマブル電源を内蔵しています。発生モードとして、測定と非同期に動作するノーマル・モードと測定に同期して変化するスイープ・モードがあります。スイープ・モードはフィクスド、 リニア、ランダムの3種類があり、アプリケーションにより最適なスイープ測定が選択できます。 
 

ノイズの影響を最小にした測定が可能

従来のエレクトロメータは入力インピーダンスが高いため、微少電流測定や高抵抗測定ができる反面、外部からの誘導ノイズに弱い欠点があります。8252は、下記の機能を採用し、ノイズの影響を最小限におさえた測定を可能にしました。

  • ケーブルの振動によるノイズ発生を防止する、低雑音二重同軸 (トライアキシャル・ケーブル)の入力ケーブル
  • ノイズに強い積分方式を採用 ・従来のフィードバック方式に比べ、対ノイズ性を改善した積分型電流ー電圧変換器・高ノイズ除去率(フルスケールの2~3倍のノイズ)を可能とした高ダイナミック・レンジのAD変換器 ・積分時間は、1 ms~1 sまで可変
  • 移動平均によりノイズを除去するスムージング機能 
     

高インピーダンス信号源の電圧や抵抗を、高速に測定できるドライビングガード機能

電圧および抵抗測定において、信号源抵抗あるいは被測定抵抗が大きな時(100 MΩ以上)、ケーブルの容量およびHi-Lo端子間の 浮遊容量によって、レスポンスが遅くなります。例えば、信号源抵抗が1000 MΩのとき、ケーブル容量が100 pFあるとすれば、この時の時定数(t=100 ms)によって、最終値の±0.1%以内に入るまでのレスポンスは、約700 msとなります。 8252は、このレスポンスを改善するためにドライビング・ガード方式を採用し、入力ケーブルの内側のシールドを入力電圧と同電位で駆動することにより、Lo端子から見たインピーダンスをみかけ上ゼロにしています。また、ケーブル、コネクタを通して測定入力端子からLo端子に流れる漏れ電流も低減されるため、みかけ上の絶縁抵抗も高くなります。この機能を利用するとレスポンスは、10倍以上速くなります。 
 

接触不良を検出するコンタクト・チェック機能

8252はコンタクト・チェック機能により、測定ケーブルと試料あるいは測定電極、フィクスチャと試料との接触不良を検出することが可能です。このコンタクト・チェック機能はDCIファンクション 30 pA~300 μAレンジにおいて、ノーマル・モードの時は測定ごとに、スイープ・モードの時はスイープ開始時に測定入力端子とLO端子、または電圧発生端子間の容量を測定して判定します。 
 

ライン・ユースに最適なハンドラ・インタフェースと PASS/FAIL判定機能

8252はGPIBとTRIGGER、COMPLETE、INTERLOCKの単線信号のほか、自動機とのインタフェースのためのハンドラ・イン タフェースを標準装備しています。また演算機能として比較演算機 能を持っており、コンタクト・チェック機能と併せて使用することに より、比較判定結果とコンタクト・チェック結果を反映したPASS/ FAIL信号出力が可能です。コンデンサ・リーク試験、絶縁抵抗試験などにおいて、高速に自動選別が可能となります。
 

表示桁数  5½桁
電圧測定 入力インピーダンス 2×1014 Ω
 測定範囲 10 μV~200 V
電流測定 測定方式

積分

測定範囲 1 fA~30 mA
抵抗測定 測定範囲(電流印加方式) 10 mΩ~200 GΩ
測定範囲(電圧印加方式) 100 Ω~2×101 7Ω
電荷測定 測定範囲 1 fC~10 μC
直流電流 発生範囲 ±200 V
分解能 1 mV
 サンプリング速度  330回/秒
シーケンス機能
インタフェース GPIB
ハンドラIF
アナログ出力

〇*1

〇*1:電流測定 30 pA~300 μAレンジの時は鋸波状の電圧出力となる。

※ 上記に入力しきれていない仕様および注釈等がございます。詳しくは『資料ダウンロード』よりカタログをダウンロードしてお確かめください。

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