4000/4005Xシリーズ｜電子計測器のエーディーシー

IRメータ
4000/ 4005Xシリーズ

2Uハーフサイズの筐体に2スロットのユニットが
搭載可能なメインフレーム

モジュール挿入可能数：2
インタフェース：USB / GPIB / LAN / RS232
ハンドラ・インタフェース：4チャンネル
デジタルI/O：8ビット

4000用微少電流/超高抵抗計モジュール

電流測定範囲：10 fA～3.2 mA
最高 1.5 msの高速積分方式電流測定
電圧発生：
±200 V （40051/40052）
+300 V, -100 V （40053/40054）
+2000 V, -200 V （40057）
コンタクト・チェック：0～100 pF/0.1 pF分解能
ハンドラ・インタフェース：INDEX, EOM, HI, GO, LO, NC

特長　　　アプリケーション　　　仕様・価格　　　外観　　　標準付属品　　　アクセサリ　　　ダウンロード

IRメータは、小型の筐体に2 スロットを搭載可能にしたメインフレーム「4000」に1 チャンネルのIR メータ・ユニット「40051/40053/40057」および2 チャンネルのIR メータ・ユニット「40052/40054」を組み合わせて装着することができますので、1 台で１～４チャンネルまでの構成が可能です。

近年、部品市場の生産ラインでは製品の製造と検査のタクト向上が必要不可欠です。そのためライン用の計測器は、測定のスピードアップ、多チャンネル化、省スペースなど各社のラインに最適な機能が常に要求されています。

このIRメータは、モジュラ化することによって、これらのお客様のご要望に応えることが可能です。

特長

4000（2スロット・モジュラ複合計測器メイン・フレーム）

4000 2 スロット・モジュラ計測器は2U ハーフサイズのメインフレームで、0.7U ハーフサイズのモジュールを2 スロット挿入可能です。
インタフェースはUSB/GPIB/LAN/RS232 を装備しておりパーソナル・コンピュータやプログラマブル・コントローラに接続して、電子部品の開発評価や生産ラインの検査システムを構築することが可能です。
４チャンネルのハンドラ・インタフェースによって自動機とのタイミング・コントロール、およびモジュールで測定／判定した結果によるデバイスの選別を行うことができます。
検査ラインではシステム・ラックに組み込んだ状態でモジュールの交換、フロントパネルのUSB からの動作確認などシステムセットアップ、メンテナンスを簡単に行うことができます。
また、5 V/200 mA の電源を持った８ビットのデジタルI/O により簡単なリレーコントロールや任意の信号発生が可能です。

40051/40052/40053/40054/40057（IRメータ・ユニット）

40051/40052/40053/40054/40057 IR メータ・ユニットは2 スロット・モジュラ計測器4000 に装着して使用するモジュールです。
40051/40053/40057は1チャンネル、40052/40054は2チャンネルのIRメータでコンデンサなど大容量試料の電流測定に最適な積分方式の電流計です。
電流測定範囲は10 fA 〜3.2 mA で、40051/40052 は±200 V/3.2 mA、40053/40054 は+300 V, -100 V/3.2 mA、40057は+2000 V/0.8 mA,±200 V/3.2 mA の直流電圧発生器を内蔵しています。そのため、312 Ω〜3×10¹⁷ Ωの抵抗測定が可能です。
高抵抗の試料を測定する場合に問題となるコンタクト状態を判断するため、容量（C）測定によるコンタクト・チェック機能（ C.CHK）を備えています。
そのほか、生産ラインの自動機からコントロールするためのハンドラ・インタフェース信号を4000 のリア・コネクタへ直接出力します。

1チャンネル IRメータ・ユニット

40051（電圧発生範囲：1 mV ～ ±200 V）
40053（電圧発生範囲：1 mV ～ +300 V / -100 V）

写真は40051

2チャンネル IRメータ・ユニット

40052（電圧発生範囲：1 mV ～ ±200 V）
40054（電圧発生範囲：1 mV ～ +300 V / -100 V）

写真は40052

1チャンネル IRメータ・ユニット（2000V発生）

40057（電圧発生範囲：±200 V, +50 V ～ +2000 V）

測定タイミングと測定時間

【DCモード】

【測定時間】

【フィクスドスイープ】

アプリケーション

APD ROSAの特性評価に

4000+40052ｘ2ユニットを使用した4ch APD ROSAのI-V特性測定例を紹介します。40052は"HIG1"コマンドで出力端子をGNDに接続する事によって、入力TRIAXケーブル1本でVSIM測定が可能です。
40052の電圧発生回路は弊社SMUと同じ方式で、オーバーシュートがなく、高速応答の定電流方式電流リミッタによりデバイスにストレスを与えない測定が可能。
電圧印加０ V～200 Vにおいて、100 μAの電流制限をして10 fA～100 μAの
暗電流特性測定が可能です。

電圧発生: 0～±200 V (最小分解能1 mV)
電流測定：0～±3.2 mA (最小分解能10 fA)
電流リミッタ：10 μA～3.2 mA

スキャナを使用した多チャンネル測定

スキャナ3100、微少電流カード31001Jと高電圧カード31001Gを使用して40051/40053/40057で多数のDUTを測定する場合の接続図を示します。40051/40053/40057のLO端子を31001JのLO端子に接続します。それによって測定していないチャンネルのDUTを常にチャージ状態にします。

31001GはDUTをR端子に接続する事によりVSとDUT間に10kΩの抵抗が入り、ノイズの低減、DUTがショートした時の過電流防止になります。最大電圧は1000Vです。

またマルチクローズモードを使用して不良になったDUTを系から除外して試験の継続ができます。

仕様・価格

型名			4000+40051/40052	4000+40053/40054	4000+40057
チャンネル数			1～4		1～2
桁数、最大表示			5½桁、319999
フローティング電圧			200 V	300 V	0 V
測定	電流	レンジ	300 pA～3 mA
		最小分解能	1 fA
		測定確度	0.3 %
		入力バイアス電流	100 fA以下
		入力抵抗	50 Ω/1 kΩ
	抵抗（演算）	測定範囲	312 Ω～3¹⁶ Ω		312 Ω～3¹⁷ Ω
		レンジ	(300 pA～3 mA)
		測定確度	0.35 %
発生	電圧	レンジ/範囲	-200 V～+200 V	-100 V～+300 V	-200 V～+2000 V
		最小分解能	1 mV
		発生確度	0.03 %		0.03 ％（200 V) 0.2 % (2000 V)
		電圧発生範囲	±30 V/±3.2 mA ±200 V/±3.2 mA	±30 V/±3.2 mA +300 V -100 V/±3.2 mA	±30 V/±3.2 mA ±200 V/±3.2 mA +50～+2000 V/0.8 mA
		電圧リミッタ	10 μA～3.2 mA 分解能 1 μA		10 μA～3.2 mA 分解能 1 μA 0.8 mA/2000 V
		スイープ	フィクスド、リニア
測定機能		積分時間	1 ms/2 ms/5 ms/0.5 PLC/1 PLC/100 ms/200 ms
		測定スピード（IT2 ms） TRG-INDEX（CHKなし） TRG-INDEX（CHKあり）	2.6 4.1
		データ・メモリ	10000データ/1チャンネル
		シーケンス	フィクスドスイープによる
		接触チェック	測定毎に実行 0.1 pF～100 pF、500 kHz/315 kHz、実行時間1.5 ms
		演算	RM、COMP
		その他機能	4チャンネル同期/非同期ジグ容量オープン補正		2チャンネル同期/非同期ジグ容量オープン補正
		INT CAL	あり
インタフェース			GPIB、USB、RS232、LAN

価格
4000	40051	40052	40053	40054	40057
¥279,000 （税込 ¥306,900）	¥229,000 （税込 ¥251,900）	¥400,000 （税込 ¥440,000）	¥243,000 （税込 ¥267,300）	¥422,000 （税込 ¥464,200）	¥490,000 （税込 ¥539,000）

※ 上記に入力しきれていない仕様および注釈等がございます。詳しくは『ダウンロード』よりカタログをダウンロードしてお確かめください。

外観

※画像クリックで拡大されます。

標準付属品

4000

名称	型名	数量
電源ケーブル（JIS 2 m）	A01402	1

アクセサリ（別売）

4000

名称	型名
パネルマウント・セット（2Uハーフ）	A02039
パネルマウント・セット（2Uハーフツイン）	A02040
ラックマウント・セット（JIS 2Uハーフ）	A02263
ラックマウント・セット（JIS 2Uハーフツイン）	A02264
ラックマウント・セット（EIA 2Uハーフ）	A02463
ラックマウント・セット（EIA 2Uハーフツイン）	A02464

4005Xシリーズ

名称	型名
TRIAX-TRIAXケーブル	A01009
高耐圧TRIAX-TRIAXケーブル	A01239
TRIAX-ミノムシケーブル	A01010
TRIAX-BNCケーブル	A01011
TRIAX・J-TRIAX・J中継アダプタ	A04201
TRIAX-J-BNC-P 1 接続（内ｰ外）	A04202
TRIAX-J-BNC-P 2 接続（外ｰ外）	A04203
BNC-J-TRIAX-P 1 接続（外ｰ内）	A04204
BNC-J-TRIAX-P 2 接続（外- （内＋外））	A04205
TRIAX-J-BNC-P 3 接続（（内＋外）-外）	A04206
BNC-J-M-P	A04207
TRIAX-Jレセプタクル	A04208
高耐圧セーフティ・ケーブル　赤　1.5 m	CC010010-150